SiC衬底清洗,SiC衬底加工

碳化硅芯片的五大关键工艺步骤
碳化硅(sic)晶体及基片
宣布提供新一代工业温度碳化硅(silicon carbide,sic)标准功率模块
一种制备碳化硅图形衬底的方法与流程
修正的四步工艺法在si衬底上生长3c-sic薄膜 的过程示意图