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直流磁控溅射薄膜,

磁控溅射过程示意图
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物理气相沉积法 真空蒸镀 薄膜技术 平面光波导 磁控溅射镀膜机 片式磁控溅射技术和透明导电薄膜.ppt_第1页
磁控溅射技术和透明导电薄膜.ppt_第1页
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