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意法半导体取得重大突破已制造首批200mm碳化硅晶圆
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碳化硅外延晶片sic外延晶片及其制造方法技术,碳化硅外延晶片专利_技高网
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碳化硅晶片在导电型碳化硅衬底上,生长碳化硅外延层,可以制得碳化硅外延片
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