mems工艺,cass工艺

mems封装用胶点2012-12ppt
《mems封装市场和技术趋势》
也是目前最热门的平面工艺mems陀螺结构之一
东西做的越小,市场越大:解读一项mems质谱仪的新技术
si501/2/3/4(si50x)cmems振荡器架构是如何构成的?