外延工艺,外延

微电子工艺—4 外延生长 微电子工艺
cn100483686c_采用磷埋工艺的双极型悬浮pnp管双外延制作方法有效
分子束外延技术
涉及工艺众多,主要生产环节包含了晶体成长,硅片成型,外延生长等工艺
led外延片生产工艺流程.docx