外延工艺,外延

集成电路制造工艺—外延.ppt
第3章_7_外延工艺.pptx 35页
技术路线 衬底制备 外延材料生长 外延片检测 n面工艺 薄膜转移 p面
半导体外延工艺的良率提升
分类 工程科技 能源/化工 led照明灯mocvd外延生长技术ppt 外延工艺