电子束光刻机,电子束光刻

电荒大爆发台积电瑟瑟发抖1台euv光刻机日用电3万度
光刻机
technology,日本电等企业也正在电子束掩膜光刻设备领域开展合作,研制
上海微电子负责光刻机设计和总体集成,北京科益虹源提供光源系统,北京
喜讯国产28nm制程光刻机突破在即助力国产芯片