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电容式振动传感器,电容式接近传感器

德国balluff巴鲁夫电容式传感器的应用
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一种具有多对驱动感应电极的电容式mems谐振器的制作电容式传感器主要有:压电微位移,振动台,电子显微镜微调,天文望远镜
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