原子层沉积,沉积层

右图 – 原子层刻蚀与原子层沉积重复循环能够显著降低光刻胶线的粗糙
如何通过原子层沉积技术实现高质量粉末包覆(pald)
原子层沉积技术(1):工作原理与应用现状简介
随后,再通过原子层沉积方法将30 nm厚的致密al 2o 3修饰在界面上,实现
原子层沉积技术