sihcl3 h2,磷氧的xps

反应式 主反 应 si 3hcl sihcl3 h2 副反应 1.
甲硅烷的三氯代物,化学式sihcl 3.为一种易流动的无色液体;熔点-126.
is converted to sihcl3 in"fluid bed si 3hcl sihcl3 h2
si2 h2cl2 si 2hcl
(sicl4)或三氯氢硅(sihcl3,硅烷(sih4)或二氯氢硅(sih2cl2)等进入置