薄膜沉积,沉积

半导体制造工艺_12薄膜沉积(上.ppt
第2-1章薄膜的化学气相沉积
3薄膜的物理气相沉积-溅射法及其他pvd方法课题.ppt
响应和比电容的宽范围面载量多功能电化学电容器—石墨烯复合薄膜
图1 钙钛矿薄膜的沉积及器件结构介绍