退火工艺曲线示意图,热处理工艺曲线示意图

退火炉退火工艺曲线
背景技术:在集成电路制造过程中,对晶圆进行退火处理时常见的处理工艺
小结 各种退火和正火工艺(a 加热温度范围(b 工艺曲线
部分退火工艺加热温度范围示意图
ac3(20~30 球化退火 退火加热温度示意图