上海光机所,上海光机所张燕

上海光机所首次利用硫系薄膜实现灰度光刻
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称中科院上海光机所)是中国建立
【直播回放 | 去中科院上海光机所来一场和光的亲密约会】5月18日
图为中科院上海光机所-上海科技大学超强激光光源装置. 赵侃 摄
图为中科院上海光机所-上海科技大学超强激光光源装置 赵侃 摄